1、電解法
被干燥劑吸收的水被電解槽電解成氫氣和氧氣并排出。電解電流與水分含量成比例，通過檢測電流可以測量樣品氣體的濕度。這種方法彌補(bǔ)了重量法的不足。測量范圍可達(dá)-80℃以下，精度高，價(jià)格低廉。缺點(diǎn)是電解槽的氣體回路在使用前需要長時(shí)間干燥，對氣體腐蝕性和清潔度的要求很高。
2、重量法
這是一種經(jīng)典的測量方法。讓測試樣品的氣流通過一些干燥劑，其水分將被干燥劑吸收。準(zhǔn)確稱量干燥劑吸收的水分含量，水分含量與樣氣體積之比為樣氣濕度。該方法精度高，最大允許誤差為0.1%。缺點(diǎn)是操作困難，尤其是難以獲得足夠的吸附水量，這對于低濕度氣體來說尤其困難。樣品氣體流量必須增加，這將導(dǎo)致測量時(shí)間和誤差增加。
3、冷鏡法
這也是一種經(jīng)典的測量方法。讓樣品氣體流經(jīng)露點(diǎn)冷卻鏡室中的冷凝鏡，并在等壓力下冷卻，使樣品氣體達(dá)到飽和冷凝狀態(tài)。此時(shí)，測量冷凝器的溫度為樣氣的露點(diǎn)。這種方法的主要優(yōu)點(diǎn)是精度高，特別是經(jīng)過半導(dǎo)體制冷和光電檢測技術(shù)后，不確定度甚至可以達(dá)到0.1℃。缺點(diǎn)是響應(yīng)速度慢，特別是當(dāng)露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，平衡時(shí)間甚至可以達(dá)到幾個(gè)小時(shí)。此外，該方法對樣品氣體的清潔度和腐蝕性要求很高，否則會影響光電檢測效果或產(chǎn)生“假冷凝”，導(dǎo)致測量誤差。
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